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: 洁净厂房的洁净度控制途径与设计概要

洁净厂房设计时如何控制车间各个区域的洁净度，对于洁净工程来说尤为重要。总得来讲，针对洁净室污染的颗粒来源，来分析怎么控制洁净厂房的洁净度是最简单有效的途径，分别是对人员污染物、物料污染物以及车间厂房结构性的污染物的控制与净化措施。1）人员净化的流线。洁净厂房内的人员净化，应遵循由外至内逐步过滤......

: 半导体晶圆净化车间设计技术要点

半导体晶圆净化车间设计布局要点半导体器件晶圆的⽣产工艺，易受外来物灰尘粒⼦、⾦属离⼦等的影响⽽破坏表⾯结构，这种特性也决定了圆晶在其制造过程中必须有环境空气洁净度的要求。同时，在半导体晶圆的测试过程中，测试间也必须置于洁净室中，洁净度的控制同样重要，环境空气洁净度控制不好，会导致空⽓中的含尘量......

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