100级的洁净室，是室内环境的污染颗粒物的控制较高，净化空调的组合宜采用PAHU+AHU+FFU 的空调方式，其中：PAHU 为新风处理机组，AHU 为空气处理机组，FFU为带风机的高效过滤器系统中加 PAHU，洁净室正压由 PAHU 风机马达变频控制，同时使室外环境的变化对洁净室的影响减小，对洁净室的温、湿度控制有利。

      每个车间均为独立空调系统。净化空调机组 AHU 将从室内抽回的回风与新风机组 PAHU 处理过的新风混合，经过风柜的过滤段、冷却段、加湿段等处理后，送至洁净室天花板上的空间，再与由回风技术夹墙回到天花板上的室内空气混合经 FFU 送到室内空间，生产设备的局部排风由排风机排至室外。

      洁净室气流组织为上送下回单向流，天花上基本布满 FFU 送风，地板采用开孔率为 18%的架空地板，部分地板有调节阀，以调节气流的流型。