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洁净室室内静压差的测试程序
1、准备程序
仪器设备及环境测量仪器，可以选择微压计、数字微压计等，在环境温度常温或洁净室设计温度下进行压差检测。
2、静压差检测区域
抽样对有设计要求的各个相邻区域，不同等级洁净区或洁净区与非洁净区，实施检测。
3、静压差检测结果规定
（1）一般情况下，相邻不同级别洁净室之间、洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。
（2）洁净室室内与室外大气的静压差应大于10Pa。
（3）洁净度高于100级的单向流层流洁净室，在开门状态下在出入口处室内侧0.6m处，不应测出超过室内级别上限的浓度。
4、操作程序及判定
（1）将所有的门关闭，将测定用胶管口径最好在5mm以下，从墙壁上的孔洞伸入室内离壁面不远处，垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动最小。
（2）静压差的测定，应从平面上最里面的房间，通常也就是洁净度级别最高的房间，与其紧邻的房间之间的压差测起，依次向外测定，直至测得最靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。
（3）对于洁净度高于100级的单向流层流洁净室，还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
5、检测时的注意事项
在进行洁净室静压差检测之前，必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时，应该关闭的门全部关闭条件下，洁净室室内送风量与回风量、排风量是否与规定设计风量相符。若达不到标准的要求，则重新调整新风量、排风量直至符合设计要求为止。
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