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现在国内洁净室的净化过滤系统一般由初效-中效-高效3个等级的过滤器组成，其中高效空气过滤器作为末端过滤是保证洁净室空气洁净度的最后一道过滤关卡。当高效过滤器出风量过小或者某处风速过快，都可能预示过滤器可能存在异常，需要检查后做维护更换。
检测高效过滤器的阻力是检测过滤功能是否正常的一个方法。净化系统中每一级过滤器都会对经过的气流形成阻力，以拦截灰尘颗粒物，慢慢地过滤器迎风面就会积灰，阻力增加。当阻力增大到某一规定值时，过滤器就达到报废的条件。在大多数情况下，FFU风机过滤单元层流罩上的高效过滤器终阻力是过滤器初阻力的2倍过时，就提示需要更换。
过滤器越脏，阻力增长越快，它会使空调系统风量锐减。终阻力值越高，并不意味着过滤器的使用寿命会明显延长。同时，没有必要将终阻力值定得过高，因为会存在风险，初效率过滤器常使用直径10mm的粗纤维滤料，由于纤维间空隙大，过大的阻力会使得过滤器滤料表面压力过大，当风机加强送风可能直接将积灰吹散，此时阻力不再增高，但过滤效率降为零。当高效过滤器积压过多的灰尘时，也会存在同样的风险，
因此，净化系统每一级过滤器要合理设置终阻力，及时周期性地更换初效、中效过滤器，才是对高效过滤器的有效保护和延长使用寿命。因为更换高效过滤器需要停产作业，对用户的生产产能是由直接影响的。应用科学的洁净室过滤器管理办法，每个过滤段都应安装阻力监测装置，终阻力要靠仪表来判定，由预见性做好更换过滤器的准备，不能仅凭操作者的感觉来更换或发生洁净度异常问题再来处理。
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