‌湿度，对洁净室的重要性，主要体现在以下几个方面：

防止微生物滋生 ‌：高湿度环境为微生物提供了理想的繁殖条件，可能导致细菌、霉菌和其他微生物的滋生和传播。通过严格控制湿度在合理范围内，可以减少微生物的生长和污染，保持洁净环境的无菌性‌ 。

1. ‌减少颗粒物积聚 ‌：高湿度会导致空气中的颗粒物聚集和沉积，影响产品质量或破坏敏感设备。控制湿度可以降低颗粒物的聚集和沉积，维持洁净环境的洁净度‌  。

2. ‌保护设备和材料 ‌：高湿度环境可能对设备和材料造成损害，如电子设备的腐蚀和绝缘材料的性能下降。严格控制湿度可以延长设备和材料的寿命，并确保其正常运行‌ 。

3. ‌确保工艺稳定性 ‌：在某些制造工艺中，湿度对产品的生产过程和质量有重要影响。例如，湿度可能影响材料的粘接和晶体管的性能。精确控制湿度可以确保工艺参数的稳定性和一致性，提高产品品质‌  。

4. ‌减少静电产生 ‌：适当的湿度可以减少静电的产生和积聚，因为湿度增加会使空气中的水分子增多，有助于导电，从而降低静电的积累。控制湿度对于减少静电问题至关重要‌  。

5. ‌控制粉尘 ‌：适当的湿度可以使粉尘更易于沉降和被清除，有助于保持无尘车间的清洁度。湿度控制还能减少粉尘对设备的磨损和腐蚀，延长设备的使用寿命‌  。

6. ‌人员舒适和安全 ‌：过高或过低的湿度都会影响人员的舒适度和健康。适当的湿度可以提供舒适的工作环境，并有助于人员的健康和安全‌  。