一、乱流式洁净室

乱流式，即空气由空调风柜经风管与洁净室内的高效空气过滤器进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风循环。气流组织不是直线型运动，而呈不规则的乱流或涡流状态。此类气流组织适用于洁净度等级1，000-100，000级的实验室。

其优点是：构造简单、系统建造成本，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，通过室内的超净工作台，提高洁净室工作操作场所洁净等级。缺点：乱流造成的微尘粒子在室内空间飘浮，不易排出，易污染生产中的产品。另外，若系统停止运转再重新启动，恢复到需求的洁净度，往往须耗时一段自净时间。

二、层流式洁净室

层流式，即空气气流运动成一均匀的直线形，空气由覆盖率100%的高效过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此类气流组织适用于洁净室等级较高的净化环境使用，一般应用洁净度等级为Class1-100。

再细分，层流式分为二种：1、水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

2、垂直层流式：房间天花板完全以超高效过滤器覆盖，空气由上往下吹，可获得较高的洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外，而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

3、复合式：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。包括以下三种形式的复合气流洁净空间：

①洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将工作区域100%覆盖，使该区域内的洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此形式需将作业人员的工作区与产品机器维修区予以物理隔离，以避免机器维修时影响了生产工作及品质，洁净隧道另有二项优点：弹性扩充容易；维修设备时可在维修区轻易执行。

②洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并进行空气净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量的送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用，药品、食品及半导体微电子制造业均适用。

③并装局部洁净室：将洁净室等级10，000~100，000的乱流洁净室内局部产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，作为生产用途；例如洁净工作台、洁净工作棚即属此类。